微量水分・超低露点計測における最新技術動向
～ 計測器の性能評価と校正に関する現状と展望 ～
日時
2025年12月04日(木)16:00-16:30
2025年12月11日(木)16:00-16:30（録画配信）
概要
半導体や自動車などの先端分野における製造プロセスの高品質化に伴い、ガス中や雰囲気中に含まれるppb～ppmレベルの極微量水分（超低露点）を高精度に計測する必要性が高まっています。しかし、この領域では計測器の応答性や正確さ、さらには校正対応など、多くの課題を抱えています。
本セミナーでは、微量水分（超低露点）域における計測器および露点発生装置の最新技術動向、各種計測原理による性能比較、校正の留意点、トレーサビリティ確保の現状と展望について解説いたします。
講演者 ： 柴田 真一（湿度、水分計測・センサ研究会 幹事 ／ 日本NCSLI 顧問 ほか）
展示会情報： SEMICON Japan2025（2025/12/17-19@東京ビッグサイト）
出展品 ： 小型CRDS微量水分計 DewTracer
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